丙二醇甲醚醋酸酯 PMA
丙二醇甲醚醋酸酯 PMA
簡稱:PMA
CAS NO:108-65-6
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詳細介紹
丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA/PMA)又稱丙二醇甲醚醋酸酯,是一種具有獨特氣味的無色吸濕性液體。 它是一種具有多功能基團的無污染溶劑。 其分子式為C6H12O3。 它不僅用作印刷油墨、油漆、油墨、紡織染料和紡織油的溶劑,還用作液晶顯示器生產中的清潔劑。 PGMEA/PMA易燃,當溫度高於42°C時,可能形成爆炸性的蒸氣/空氣混合物。
在半導體行業中,PGMEA 是一種常用的溶劑,主要用於在矽片上應用雙(三甲基甲矽烷基)胺 (HMDS) 等表面粘合劑。 由於其蒸發到環境空氣中,該化合物通常是半導體潔淨室中最豐富的空氣傳播分子污染物 (AMC)。